雜質沾污對電熱器件性能影響
提起雜質,人們就會覺著是臟的,不好的、有害的東西,其實不同的雜質有不同的用途,在不同的地方產生不同的影響。雜質的定義是指物體中含有非奔物質的其他物質為該物體中的雜質。
電伴熱晶體管和集成電路的制造,使用的是含有雜質的半導體材料。對于這種材料,其導電性能往往不只是決定于本征激發(fā)所產生的載流子,而是決定于材料中所含有的雜質,即決定于雜質的性質和含量多少。器件生產過程中,要遇到各種雜質,其中有些雜質對器件制造有很大的好處(指有目的的雜質摻入),.有些雜質對器件制造帶來嚴重的危害(例如重金屬離子、鈉離子、油污、灰塵等),這些雜質對半導體材料制備和器件的生產有嚴重的破壞性,影響著材料的純度、晶體結構的完整性、器件的性能和成品率。
在半導體材料制備或器件生產的不同工序中,同一種雜質的作用也不一樣。例如,翻和礴這兩種元素,各有不同性質和作用,制造n型半導體時,磷是重要的摻雜雜質,硼則成為有害雜質,在制造P型半導體時,翻是重要的摻雜雜質,磷則成為有害雜質。在3DK晶體管生產中,有金擴散工序,金元六是摻雜的有用雜質,但在其他晶體管和集成電路的生產中,則要采取一切措施,避免金的沾污。因此,某一種雜質是有益的或是有害的,要按半導體材料制備和器件的生產需要確定。